材質:Metal鋁合金、工程塑膠

功能:ESD抗靜電、絕緣

可依使用溫度或其他需求,變更材質、機構特徵或尺寸

 
12吋(FOUP、薄化晶圓、25Slot、13Slot)
 
 
Matel Cassette
工程塑膠(PEI)耐高溫 Double Slot